非晶矽在高溫晶化時脫膜抑制技術
低粉塵工藝技術
沈積薄膜過程電場阻抗系統穩態控制技術
大面積均勻性控制技術
等離子體脈沖氧化法制備超薄氧化矽技術
“氧化矽+原位摻雜非晶矽”公海賭賭船官網jc710二合一工藝技術
公海賭賭船官網jc710股份與中科院甯波材料所展開戰略合作,探索出用管式PECVD裝備實現PERTOP光伏電池核心材料“超薄氧化矽+原位摻雜非晶矽”的制備,同時在抑制非晶矽爆膜、防止電場導通、實現高效電池全工藝集成等關鍵技術方面取得了重大突破,推出了簡化工藝流程解決方案。
等離子體增強型化學氣象沈積(PECVD)技術